Sebbene non ci sia un singolo inventore del microscopio, nel 1595 Zacharias Janssen e suo padre, Hans, inventarono il primo microscopio composto. Entrambi i produttori di occhiali, la loro invenzione dimostrò che una serie di lenti all'interno un tubo crea un'immagine ingrandita.
Il microscopio di Janssens era a mano e consisteva di lenti bi-convesse e plano-convesse in grado di ingrandire le immagini fino a 10 volte la loro dimensione effettiva. Nel 1600, Anton van Leeuwenhoek sviluppò un semplice microscopio con una messa a fuoco e un ingrandimento più potenti per visualizzare microrganismi e cellule. Il microscopio composto di Robert Hooke utilizzava l'illuminazione per osservare cellule vegetali e animali, minerali e fossili. Nel 1800, Carl Zeiss, Otto Schott e Ernst Abbe hanno ulteriormente studiato l'ingrandimento e migliorato la precisione del colore e il vetro. Ernst Ruska ha inventato il primo obiettivo per elettroni nel 1931.
