Frederick Guthrie ha inventato il diodo nel 1873, ma non l'ha messo in pratica. Thomas Edison lo sviluppò indipendentemente nel 1880, poi lo usò nel suo brevetto del 1883 della lampadina a incandescenza. John Ambrose Fleming ha ricevuto il primo brevetto sul diodo stesso nel 1904.
Tutti questi diodi precoci erano diodi a valvole a vuoto. Il diodo del tubo a vuoto era la forma più comune fino agli anni '50, quando i diodi a semiconduttore li soppiantarono. I diodi a semiconduttore sono stati inventati poco dopo i diodi del tubo a vuoto, ma non erano sufficientemente stabili per l'uso pratico fino alla metà del 20 ° secolo. Karl Ferdinand Braun ha inventato il primo diodo a semiconduttore nel 1874 e lo brevettò nel 1899.
